项目背景:

1.以单晶硅、石英玻璃为代表的光学难加工材料广泛应用于空间探测、电子显示等系统的核心部件，其制造水平关乎国防、电子信息、能源等重大行业的发展；

2.单一超精密制造方法难以满足难加工材料超高表面质量和面形精度的超精密制造需求。

项目成果：

1.工艺机理突破：各类型辅助超精密制造工艺，在充分理解超精密制造过程中能场与材料交互作用机理，材料去除机理与亚表层损伤及微裂纹成形机理基础上开发新型工艺；

2.装备研发：完成国内先进的超精密机床本体设计与制造，配备各类型辅助超精密制造单元，适应多种材料超精密制造；

3.智能化集成：超精密制造单元与机床控制系统集成，实现高精度低损伤复杂几何形貌超精密光学、显示器件智能化制造。

项目应用：光电子产业、航空航天及国防安全